圧力コントローラ (AP110R)

Model AP-110R は製造装置における真空チャンバーを真空排気する際バルブコンダクタンスを変化させることにより、真空排気速度を制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。

チャンバーガード

真空排気ポンプ上部への取り付け、排気ポンプが緊急停止した際に排気ラインを遮断するユニットであります。成膜・剥離プロセス等で発生する反応生成物や粉塵がチャンバー内や排気系に蓄積しております。プロセス中にポンプが緊急停止するとチャンバー内の粉塵の舞い上がりや配管等からのチャンバー内製品汚染を引き起こす原因となります。チャンバーガードを使用することでポンプの停止の際に排気系を瞬時遮断することにより、粉塵の逆流を防止し製品をコンタミネーションから守ります。

真空計用電源表示器

MS-1/MS-2S はBrooks 社製キャパシタンスマノメーター専用に開発されたセットポイントリレー搭載の表示器＆パワーサプライユニットです。キャパシタンスマノメーターを1 台又は2 台接続出来ます。独立して動作するセットポイントリレーを2 個又は4 個内蔵しております。温度ステイタス出力付きのキャパシタンスマノメーターを接続する場合は温度ステイタスを表示させる事が可能です。

ヒーターブロック

自己加熱型(ヒーター搭載)スロットバルブを世界に先駆け製品化しましたが、成膜プロセスで使用されておりますヒーターブロックにつきましても、弊社のご提供する製品は、温度均一性、低パーティクルの高品質で、デバイス工場で品質と生産性向上、そしてコストダウンに貢献しております。

 

 

・既存装置の同等品
150mm～200mm装置対応パーツ

・新規製作品

各種お問い合わせください。