非加熱スロットバルブ(バタフライ)

弁体部が0~90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットル(バタフライ)バルブです。各種真空チャンバー(エッチング/CVD装置他)の圧力制御を高速応答、高再現性で行えます。APシリーズコントローラ/キャパシタンスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて、高速応答、高再現性の真空圧力制御が得られます。

自己加熱型スロットバルブ(バタフライ)

Megatorr独自技術の自己加熱型スロットバルブは、フランジにサンドイッチ状にヒータを挟み込み、また弁体にもヒータを埋め込む自己加熱型です。
200℃まで対応、また温度均一性に優れ、デポを抑止し大幅にメンテナンス性と生産性を向上いたします。

広帯域バルブ

従来の真空圧力制御において、プロセスの多様化により、圧力制御範囲も多様化の傾向を示してきており、特に低真空(高圧)下での圧力制御のニーズが増加してきております。バルブ加熱温度も、同じくプロセスガスの多様化により、より温度を求められるようになってきました。そのご要望にお答えする為に開発致しましたのがこの広帯域バルブです。
広い圧力制御範囲:101.33kPa(大気圧) ~ 10Pa以下(760Torr ~ 70mTorr以下)で制御ができ、また200℃まで加熱することができます。

圧力コントローラ (AP420)

APシリーズはキャパシタンスマノメータ(絶対圧真空計)、スロットバルブと組み合わせて使用する圧力コントローラです。アダプティブ/PID/ハイブリッドの3種類より制御方式を選択でき、半導体/FPD/太陽電池等の製造装置に求められる高速応答、高再現性の真空圧力制御を確実に行います。フロントパネルからの設定も可能ですので、操作性が非常に容易です。またCEマーク、RoHS対応品のため、世界中あらゆる産業の量産設備で使用されています。