CMCAP（汎用型）シリーズ

CMCAPシリーズゲージは、堅牢な全溶接構造とインコネルダイアフラムを特長とするコンパクトで経済的な非加熱キャパシタンスマノメーターです。
この製品のエレクトロニクスは、周囲温度変化によるドリフトを最小限に抑えるように温度補償されています。
ガス種の影響を受けずに、あらゆる環境下で、絶対圧を測定することができます。

XacTorr デジタル真空圧計

デジタル回路搭載のキャパシタンスマノメータ、CMXシリーズは、独自のセンサー技術（特許取得済み：US Patent No. 4823603）にデジタル温度制御、デジタルキャリブレーションを組み合わせることで、さらなる高精度、長期安定性に実現いたしました。

石英製品

半導体工程で使用される石英製品は、特に品質に対し厳しい仕様を求められています。弊社が取り扱いますWonik Quartz 社製（韓国）石英製品は、ISO9002 認定工場で製作された高品質、高精度の製品です。各種石英を取りそろえております。
 
 
 
 
 
・各種装置メーカー純正品
　アウターチューブ/インナーチューブ/ボート/他パーツ
　150mm～300mm装置対応パーツ

・新規設計製作品

各種お問い合わせください。

溶接メタルベローズ

溶接ベローズは、一般真空機器、半導体製造装置における可動部分の真空保持や装置からの排気配管用として数多く使用されております。特に、装置の可動部の真空を保持する為に、安全性/気密性や耐久性を考慮にいれ高品質の金属を使用した溶接メタルベローズが求められています。弊社の溶接メタルベローズは、ISO9001 認定工場で管理、製造、検査されており、ご安心できる高品質のベローズをご提供いたします。

 

・新規設計製作
・既存品同等製作
・改善提案製作

＊ご要望にてご相談製作いたします。