広帯域バルブ

従来の真空圧力制御において、プロセスの多様化により、圧力制御範囲も多様化の傾向を示してきており、特に低真空（高圧）下での圧力制御のニーズが増加してきております。バルブ加熱温度も、同じくプロセスガスの多様化により、より温度を求められるようになってきました。そのご要望にお答えする為に開発致しましたのがこの広帯域バルブです。
広い圧力制御範囲：101.33kPa(大気圧) ～ 10Pa以下(760Torr ～ 70mTorr以下)で制御ができ、また200℃まで加熱することができます。