圧力コントローラ (AP420)

2017-04-06

APシリーズはキャパシタンスマノメータ(絶対圧真空計)、スロットバルブと組み合わせて使用する圧力コントローラです。アダプティブ/PID/ハイブリッドの3種類より制御方式を選択でき、半導体/FPD/太陽電池等の製造装置に求められる高速応答、高再現性の真空圧力制御を確実に行います。フロントパネルからの設定も可能ですので、操作性が非常に容易です。またCEマーク、RoHS対応品のため、世界中あらゆる産業の量産設備で使用されています。