ヒーターブロック

自己加熱型(ヒーター搭載)スロットバルブを世界に先駆け製品化しましたが、成膜プロセスで使用されておりますヒーターブロックにつきましても、弊社のご提供する製品は、温度均一性、低パーティクルの高品質で、デバイス工場で品質と生産性向上、そしてコストダウンに貢献しております。

 

 

・既存装置の同等品
150mm～200mm装置対応パーツ

・新規製作品

各種お問い合わせください。