事業紹介
半導体を製造する工程の多くは、管理された真空条件で素子の加工が行われます。
当社の事業は、ユーザー様の必要とするプロセス槽(チャンバー)内の真空圧力条件を、設定に基づいて
自動圧力制御を行う装置 "APC System"(Automatic Pressure Controll System)を提供している会社です。
APC Systemは、圧力センサー、流量制御バルブ、圧力コントローラーから構成され、設定された
APC Systemは、圧力センサー、流量制御バルブ、圧力コントローラーから構成され、設定された
プロセス条件に基づいて自動で圧力制御を行うものです。
また、多種多様なプロセス条件を満たすため、特殊制御バルブや装置廻りの様々なコンポーネントの
製造販売や商品開発にも力を注いでおります。
取り扱い商品を下記の排気ライン模式図に記しましたのでご参照ください。

ゲートバルブ
・振り子型ゲートバルブ
・アパーチャーバルブ
※近日公開
環境に配慮した取り組み
メガトール株式会社は、ISO14001に準じた環境マネジメントKES(京都議定書発祥地による環境マネジメント)を
取得し、積極的に環境負荷の低減を実施しております。
当社は、活動、製品及びサービスが環境に及ぼす影響を確認し、環境宣言及び環境影響評価結果(著しい環境影響項目)に基づき環境改善目標を設定し、KESステップ1に適合する環境マネジメントシステムを構築し活動しております。
そして当社の活動、製品及びサービスが環境に及ぼす影響に関し、継続的な環境マネジメント活動を行うため、
環境宣言を制定しております。
