圧力制御バルブに搭載されている弁体の開度又は位置を正確に可変することで、コンダクタンスを調整し真空圧力を
コントロールします。
Megatorrは、バタフライ弁/アングル弁（ピストン式L型）/アパーチャー（開口絞り）の3方式の
Megatorrは、バタフライ弁/アングル弁（ピストン式L型）/アパーチャー（開口絞り）の3方式の
真空コントロールバルブを提供しています。
バタフライバルブ
弁体部が0～90°可変することにより真空圧力制御を行うバタフライバルブです。
各種真空チャンバー（エッチング・CVD装置他）の真空制御を高速応答・高再現性で行えます。
自己加熱型バタフライバルブはフランジにヒーターを挟み込み、弁体にもヒーターを埋め込む
メガトールの独自技術です。
200℃まで対応可能で温度均一性に優れ、デポを抑止し大幅にメンテナンス性と生産性を向上いたします。
APシリーズコントローラーやキャパシタンスマノメーターと併用する事により半導体等のプロセスにおいて
高速応答・高再現性の真空制御が得られます。
 | バタフライバルブ データシート (1099KB) |
アングルバルブ
真空圧力制御におけるプロセスの多様化によって、圧力制御範囲も多様化しており、
特に低真空（高圧）下での圧力制御のニーズが増加しております。
バルブ加熱温度も同じくプロセスガスの多様化により、更に温度を求められるようになってきました。
それらのご要望にお答えする為に開発したのがこのアングルバルブです。
広い圧力制御範囲：101.33kPa（大気圧）～10Pa以下（760Torr ～ 70mTorr以下）で制御ができ、
200℃まで加熱することができます。
| アングルバルブ データシート (532KB) |
アパーチャーバルブ
他では見られないユニークな開閉機構を搭載した、真空排気とガス気流の最適化が出来る
画期的な真空制御バルブです。
排気の流れの偏りを無くし、ウェハー表面へのガスに晒される時間や量の不均等を解消し、
均一性（ユニフォミティ）の大幅な改善が実現できます。
| アパーチャーバルブ データシート (708KB) |
圧力コントローラー（AP-430）
APシリーズは絶対圧真空計（キャパシタンスマノメーター）、バタフライバルブと
組み合わせて使用する圧力コントローラーです。
PID・ハイブリッドの2種類から制御方式を選択でき、半導体・FPD・太陽電池等の
製造装置に求められる高速応答、高再現性の真空圧力制御を確実に行います。
フロントパネルからの設定も可能ですので、操作が非常に容易です。
またCEマーク・RoHS対応品のため、世界中のあらゆる産業の量産設備で使用されています。
| AP-430 データシート (300KB) |
圧力コントローラー（AP-110R）
AP-110R は製造装置における真空チャンバーを真空排気する際に、バルブコンダクタンスを変化させることで
真空排気速度を制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。
| AP-110R データシート (380KB) |