チャンバーガード
チャンバーガードは真空排気ポンプ上部へ取り付け、
排気ポンプが緊急停止した際に排気ラインを遮断するユニットです。
成膜・剥離プロセス等で発生する反応生成物や、粉塵がチャンバー内や排気系に
蓄積すると、ポンプが緊急停止した場合に配管等からの粉塵の舞い上がりによって、
チャンバー内製品の汚染を引き起こす原因となります。
チャンバーガードを使用することでポンプ停止の際に排気系を瞬時遮断することができ、
粉塵の逆流を防止し製品を汚染から守ります。
 | チャンバーガード データシート ( 230KB) |
真空計用電源表示器
MS-1S・MS-2S はBrooks Instrument社製キャパシタンスマノメーター専用に
開発された、セットポイントリレー搭載の表示器＆パワーサプライユニットです。
独立して動作するセットポイントリレーを2個又は4個内蔵しており、
キャパシタンスマノメーターを1台又は2台接続出来ます。
温度ステータス出力付きのキャパシタンスマノメーターを接続する場合は、
温度ステータスを表示させる事が可能です。
| MSシリーズ データシート ( 271KB) |
石英製品
半導体工程で使用される石英製品は、特に品質に対し厳しい仕様を求められています。
弊社が取り扱っているWonik QnC 社製（韓国）石英製品は、
ISO9002認定工場で製作された高品質・高精度の製品です。
高品質で多種多様な石英を取りそろえております。
ご希望の仕様等がありましたら、お気軽にご相談ください。
- 新規設計製作品
- 各種装置メーカー純正品
アウターチューブ・インナーチューブ・ボート・他パーツ
150mm～300mm装置対応パーツ
| 石英製品 データシート ( 233KB) |
ケーブルハーネス製作
お客様の仕様に沿ったケーブルハーネスを高品質・短納期で製作いたします。
小ロット・多品種のご依頼もお待ちしております。お気軽にご相談ください。
ハーネスの図面をお持ちでないお客様は、当社で図面化も対応いたします。
ハーネス製作に従事する作業者全員が、ソルダリング技術や品質管理の
社外認定を取得し、安定した高品質の製品を作り上げております。
| ケーブルハーネス製作のご案内 ( 702KB) |