ヒーター製品

ヒーターブロックは、半導体製造装置内でウェハーの温度を精密に制御するために用いられ、

加熱・保持する機能を持っています。

メガトールでは低パーティクルで温度均一性に優れた製品を提供しており、

こちらを使用することで品質・生産性の向上、そしてコストダウンに貢献しております。

ご希望の仕様等がありましたら、お気軽にご相談ください。

　150mm～200mm装置対応パーツ