ヒーターブロック
ヒーターブロックは、半導体製造装置内でウェハーの温度を
精密に制御するために用いられ、加熱・保持する機能を持っています。
メガトールでは低パーティクルで温度均一性に優れた製品をご提供しており、
こちらを使用することで品質・生産性の向上、そしてコストダウンに貢献しております。
ご希望の仕様等がありましたら、お気軽にご相談ください。
- 新規設計製作
- 既存装置の同等品
150mm～200mm装置対応パーツ
 | ヒーターブロック データシート ( 633KB) |
お問い合わせ 045ｰ222-0035
ヒーター製品
メガトール株式会社
〒231-0024
神奈川県横浜市中区吉浜町2-14 廣岡ビル4Ｆ
TEL：045-222-0035
FAX：045-222-0016
■【自社製品】
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FAX：045-222-0016
■【自社製品】
・広帯域バルブ（ピストン）
・広帯域圧力コントローラー
・スロットルバルブ（バタフライ）
・圧力コントローラー
・溶接メタルベローズ
・溶接メタルベローズ
・各種ヒーター関連機器
・フォアライントラップ（フィルター）
・ケーブルハーネス製作
■ 【Brooks Instrument社製品】
・絶対圧真空計（キャパシタンスマノメーター)
■ 【WonikQnC社製品】
・石英部品の製造、販売
■ 【Brooks Instrument社製品】
・絶対圧真空計（キャパシタンスマノメーター)
■ 【WonikQnC社製品】
・石英部品の製造、販売