製品情報

当社はプロセス槽（チャンバー）内の真空圧力条件を、設定条件に基づいて自動圧力制御を行う装置

"APC System"(Automatic Pressure Control System)を提供しております。

また、ユーザー様が必要とするプロセス条件を満たすための特殊な真空制御バルブや装置廻りの

様々なコンポーネントの製造販売や商品開発にも力を注いでおります。