当社はプロセス槽(チャンバー)内の真空圧力条件を、設定条件に基づいて自動圧力制御を行う装置"APC System"(Automatic Pressure Controll System)を提供しております。また、ユーザー様が必要とするプロセス条件を満たすための特殊制御バルブや装置廻りの様々なコンポーネントの製造販売や商品開発にも力を注いでおります。 製品紹介 絶対圧真空計・汎用型 CMCAシリーズ・汎用 加熱型 CMXシリーズ 圧力制御製品・非加熱型スロットルバルブ(バタフライ)・自己加熱型スロットルバルブ(バタフライ)・広帯域バルブ(ピストン)・アパーチャーバルブ・圧力コントローラー 溶接メタルベローズ・一般真空機器用・半導体製造装置用 フォアライントラップ・フォアライントラップ(フィルター) ヒーター製品・ヒーターブロック 既存装置の同等品 150mm~200mm装置対応パーツ 新規設計製作品 その他の製品・チャンバーガード・真空計用電源表示機・石英製品 各種装置メーカー純正品 アウターチューブ/インナーチューブ/ボート/他パーツ 150mm~300mm装置対応パーツ 新規設計製作品・ケーブルハーネス製作