絶対圧を測定できる圧力センサー、特に真空センサーで最も信頼性と実績のある隔膜真空計(CDG:キャパシタンスダイヤフラムゲージ)の汎用型(非加熱)と加熱型を提供しています。
圧力差で変位するダイヤフラムと電極間の静電容量を計測し、気体の種類に依存せず高精度に絶対圧を測定できます。 あらゆる産業、プロセス条件で使用できる製品です。
圧力差で変位するダイヤフラムと電極間の静電容量を計測し、気体の種類に依存せず高精度に絶対圧を測定できます。 あらゆる産業、プロセス条件で使用できる製品です。
汎用型キャパシタンスマノメーター CMCAシリーズ
CMCAシリーズは、堅牢な全溶接構造とインコネルダイアフラムを特長とする、
コンパクトで経済的な非加熱キャパシタンスマノメーターです。
この製品は、周囲温度変化によるドリフトを最小限に抑えるように温度補償されています。
ガス種の影響を受けずにあらゆる環境下で絶対圧を測定することができます。
CMCAシリーズ データシート (365KB) |
汎用・加熱型キャパシタンスマノメーター CMXシリーズ
CMXシリーズは、独自のセンサー技術(特許取得済み:US Patent No.4823603)にデジタル温度制御と
デジタルキャリブレーションを組み合わせることで、さらなる高精度・長期安定性を実現いたしました。
CMXシリーズ データシート (729KB) |
