非加熱スロットバルブ(バタフライ)

弁体部が0～90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブです。各種真空チャンバー（エッチング/CVD装置他）の圧力制御を高速応答、高再現性で行えます。APシリーズコントローラ/キャパシタンスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて、高速応答、高再現性の真空圧力制御が得られます。